气体介绍
四氟化碳，也称四氟甲烷，化学式为CF4，可以被视为卤代烃（有机化合物）或无机化合物。它在常温常压下为无色气体，不溶于水，可溶于苯和氯仿。它主要用于集成电路的各种离子刻蚀工艺，以及激光气体、低温冷却剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料和红外探测管的冷却剂。
存储在凉爽通风的非可燃气体储存室，远离火源和热源。储存温度不应超过30℃。应与可燃物和氧化剂分开存储，且不得一起存放。储存区应配备泄漏应急处理设备。
产品参数
| 化学式 | CF4 |
| 元素的丰度 | 5N |
| 包装 | 47L/470LL |
| 阀门型号 | CGA580/ CGA320 |
