化学式：C4F6
纯度规格：4N
分子式：C4F6
分子量：162.033
CAS号：685-63-2
气体介绍
六氟丁二烯的特点：可燃、有毒、无色、无味的液化压缩气体，存储在坚硬的瓶子中，吸入有害。当与空气混合至7%的浓度时，存在立即发生燃烧和爆炸的风险。
六氟丁二烯的存储：应存放在阴凉通风处，容器应密封。存储在原容器中的温度不得超过50℃。避免阳光直射。小心避免与氧化剂共同存放，远离火源。
六氟丁二烯主要用于大规模集成电路的先进刻蚀工艺。与传统的刻蚀气体相比，六氟丁二烯具有更快的刻蚀速率、更高的选择性和纵横比，并且更加环保。
产品参数
| 化学式 | C4 F6 |
| 元素的丰度 | 4N |
| 包装 | 47L |
| 阀门型号 | DISS724 |
