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氩气(Ar)
氢气(H2)
甲烷(CH4)
二氧化碳(CO2)
100ppmH2/Ne
4.5%HCl/0.9%H2/Ne
0.95%F2/3.5%Ar/Ne
0.95%F2/1.25%Kr/Ne
1.25%Kr/Ne
二氯硅烷(SiH2Cl2)
一氧化二氮(N2O)
硅烷(SiH4)
No. 2 ，Total 4
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