电子特种气体——芯片、血液与半导体的第二大材料
电子特种气体的基本信息
电子特种气体是一种在电子产品制造过程中不可或缺的高纯度气体，是特种气体的重要分支，在半导体、液晶面板和太阳能电池等电子元件的生产中起着关键作用。它们广泛应用于气相沉积、离子注入、光刻、刻蚀、掺杂和扩散等工艺中，对电子产品的性能和可靠性具有决定性影响。电子特种气体产品的高纯度稳定性和高精度一致性与电子产品的性能密切相关，因此被誉为“芯片的血液”。
电子特种气体可以根据不同的制造工艺进行区分，也可以根据气体的化学成分分为含氟气体、含硅气体、含硼气体、含锗气体、氢化物气体等。其中，含氟特种气体的使用量最高。
